半導體潔淨車間是為了確保在生產過程中不（bú）會受到外界汙染，從而保證產品（pǐn）質（zhì）量和可靠性，其標準（zhǔn）非常嚴格。以下是（shì）一些關鍵的半（bàn）導體潔淨車間標準：

1. **潔淨度等級**：

   - 半導體潔淨車（chē）間通常（cháng）按照（zhào）ISO 14644-1標準進行（háng）分（fèn）類，常見的潔淨度等級包括ISO 3（相（xiàng）當於100級潔淨室）、ISO 4（相當於（yú）10級潔淨（jìng）室）、ISO 5（相當於1000級潔淨室）等。

2. **顆粒控製**：

   - 對於不同級別的潔淨車間，空氣中允許的顆粒（lì）數（shù）量有嚴格的規定。例如，ISO 3級潔淨室要求每立方米空氣中0.5微米顆粒的數量不超過3500個。

3. **溫度和濕（shī）度（dù）**：

   - 溫度通常控製在22°C左右（yòu），上下（xià）波動不超過2°C。

   - 相對濕度控製在大約30%至50%之（zhī）間，允許誤差在1%的範圍（wéi）內，特別（bié）是在光刻區（qū）或遠紫外線處（chù）理（DUV）區，濕度控製甚至更嚴格。

4. **壓差控製**：

   - 潔（jié）淨車間與室外的靜壓差應不小於10Pa。

   - 不同空氣潔淨度的潔淨區與非潔淨區之間（jiān）的（de）靜（jìng）壓差應不小於5Pa。

5. **通（tōng）風和空氣流量**：

   - 確保每人（rén）每小時供應（yīng）的新鮮空氣量不小於40m³。

   - 潔淨車間（jiān）的換氣次數較高，通常百級（jí）潔淨車間的換氣次數在200次/h以上。

6. **噪聲（shēng）控製**：

   - 潔淨車間內的噪聲級不應大於65dB(A)。

7. **照（zhào）度和風速**：

   - 潔（jié）淨（jìng）室截麵風速和照度（dù）應符合設計規範要求，例如垂直流潔淨車間的（de）滿布比不小於60%，水平單向流潔淨車間不小於40%。

8. **靜電控製**：

   - 對（duì）靜電要求極其嚴格，通（tōng）常需（xū）要控製相對濕度在適當的範圍內以減少靜電產生。

9. **過濾係統**：

   - 采用高效的空氣過濾（lǜ）係統，如HEPA或ULPA過濾器，以保持空氣的潔淨度。

10. **建築和維護**：

    - 潔淨車間的（de）建造材料、結構設計和維護都必須符合特定的標準，以確保長期穩定運行。

這（zhè）些標準（zhǔn）旨在確保半導體生產過程中不受汙染，從而生產出高品質的半導體產品。

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